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问题

BATCH配方过程中选择单元

1

328 产品版区：BATCH

文档类型：问题类别：产品选型问题类别：产品使用问题类别：故障诊断

溶液配好后，会去向好A、B、C、三个单元单元。现在是Phase参数里面必须要选择一个去向（A、B、C）
怎样可以手动选择我要去的那个单元。

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手机用户20251126875725 新生

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在 CFC 编辑器中编辑 A、B、C 三个 UNIT_PLC 块时，需要通过 TAG_COLL(FB256) 的输入管脚 F_TYPE 把这三个 UNIT 设置成同一个 UNIT_CLASS 名称。其后所连的 A、B、C 三个 UNIT 的工艺参数名称也必须相同。
然后在编辑 Recipe 时，去向的单元以 UNIT_CLASS 方式编辑，就无需指定具体的 UNIT 了。只要操作人员启动该 Recipe 并运行到这一步时，就会等待操作人员具体选择哪一个 UNIT。选择完成以后，就会运行选定的 UNIT 对应的 PHASE。

lu_zhao_long 中级工程师

被采纳率 48.90% 2025-11-27 23:58 本回答有6位钻石用户推荐

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手机用户20251126875725

被采纳率低 2025-11-27 22:09

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