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光栅尺的材质分为金属的和玻璃二种，清洗过程大同小异。
加工中心一般采用玻璃尺，清洗步骤如下——
一、拆下连接光栅的导线电连接器；
二、拆下光栅二端固定螺栓；
三、小心抽出玻璃尺；
四、配制好酒精乙醚溶剂（配比根据环境温度和湿度确定）；
五、最好用长纤维的专用脱脂棉，卷在柳木棒上（柳木比较软，万一直接接触玻璃尺不致损伤。长纤维脱脂棉在使用时，纤维很少脱落，不会产生多余物）；
六、用卷着棉花的木棒蘸少许酒精乙醚溶液后，擦洗光栅尺上的污垢；
七、如果光栅尺上出现霉点，则利用清水擦洗；
八、注意1、在清理时，不能用力。光学的清理是利用溶剂分解污垢，不是靠力量摩擦污垢；
九、注意2、棉花棒的干净面只能接触一次光栅尺，不能反复使用，以避免二次污染；
十、注意3、如果清洗后留下新的污垢，需反复清洗，直至溶剂接触后不留痕迹；
十一、用吹灰球吹干净光栅表明多余物。
十二、装配光栅，保持与导轨平行。
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