802D SL 系统，系统是带光栅尺全闭环的，低速时，向上走正常不抖，向下走抖动。快速比较正常。将光栅尺屏蔽掉后，现象一样，排除光栅尺因素，减低P1460、MD32200和MD32300，都没什么效果。开始手动向上或向下运动时，有异响，后检查滑块中塞铁，发现有些紧，后将塞铁松了许多，下上运行没有异响了，但向下运行还有些抖，向下运行，经常是启动时，用百分表打会跳一下，之后会好一些，有时还会没0.05mm地跳一下。今天又将电机脱开，电机低速正反向运动，没有发现异常，后又将电机装上，结果除了向下运行有些抖外，还有些低沉的声响。总觉得应该是机械的问题，但也找不出原因。机床是齐一的。有谁有类似的经历，给出出注意。