迟滞非线性特性广泛存在于传感器、压电陶瓷、铁磁体、半导体材料及智能材料等领域，扩散硅压力传感器作为一种性能优良的测量压力的传感器广泛应用于各领域。但扩散硅压力传感器本身也存在迟滞非线性特性，限制了测量的精度。
迟滞可由传感器内部元件存在能量的吸引造成，主要由下面几个因素造成，第一就是材料，任何一种半导体材料因为其内部的组织结构关系的复杂性，受到外力加压后在微小晶粒之间会产生微应变，当外力消失后，微应变随之消失，但是不一定恢复到原来的状态，不同材料有不同的迟滞特性。第二就是安装条件，如表面状况、安装扭力等是最大的影响因素。另一方面是指压力传感器在使用现场的安装条件，如表面状况、接触面积、安装扭力、螺栓强度、承载面硬度等均会影响。第三就是一些其它的因素，比如秤台强度、基础坚固性、防尘防水等因素。
解决压力传感器的迟滞非线性一般都是采用补偿法，补偿法能一定的解决这个问题，效果也很不错，当然了这个也是无法根本解决的问题，补偿法有一定的优势但是也有缺点，最好的方法还是从根源入手，比如更换好一点的材料，主要安装条件等，这样才能很好的解决迟滞问题。