MicroSense提供传感器和OEM计量模块，在其专利的电容式感应技术基础上，进行超高精度，高带宽的精密测量应用，如太阳能硅片(厚度测量)，硬盘驱动电机（主轴跳动误差分析），气浮主轴（主轴跳动误差分析），精密XY工作台（位移量测试及精确定位），光盘（厚度、平坦度测量），汽车零部件及机床（直线度、平坦度及精确定位）,伺服反馈系统（如钻石切割、压电式切割机）。我们的电容式位移传感器提供了在同行业中最高的分辨率（小于0.05纳米），具有出色的稳定性和几乎无限的使用寿命。
产品参数：
MicroSense旗下共有4800、5800、6800和8800系列产品。探头主要分为被动式和主动式两种型号。探头型号的选择需要综合考虑被测物体尺寸、运动速度等因素。
被动式探头具有高线性度、高稳定性、高分辨率的特点，带宽支持：10Hz、100Hz、1KHz、10KHz、最高支持20KHz带宽，线性度为满量程的0.02% - 0.1%,量程范围从+/- 5um - +/-2mm，稳定性：一般优于200ppm/oC，分辨率为纳米或亚纳米级别，输出电压：+/- 10V；
产品性能优势：
? 高分辨率，最高可达亚纳米级分辨率；
? 没有迟滞；
? 高带宽，最高可支持100KHz带宽；
? 小探头尺寸，探头尺寸及长度可根据客户实际应用设计；
? 精度高；
应用领域：
1. 距离测试、机床和精密机台的直线度和平面度测量
2. 机床主轴，空气轴承主轴，轴承和精密电机径向和轴向跳动测试
3. 硅片等厚度测试
4. 定位系统应用：
5. 自动对焦控制系
6. 伺服反馈系统

现有客户群体：
清华大学、南开大学、天津大学、德国Bruker、荷兰ASML、美国西部数据(Western Digital Corp)、美国Federal Mogul、美国FEI、韩国三星集团、日本 Canon、日本Nicon、日本NUFLARE、日本YASKAWA等全球知名企业及院所。
我公司同时代理轮廓投影仪（CCP），如任何疑问欢迎你随时和我们联系(010-62615731/5735)或登录我们的网站(http://www.dymekchina.cn/)查看设备的介绍。