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光栅栅距问题

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江之中

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光栅栅距问题

1849

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2013-10-30 16:31:46

我用的光栅尺是海德汉LC183-840/10nm，设置光栅参数的时候，要设置光栅栅距，请问这个栅距要看光栅尺的哪个参数？

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guzhang

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