我觉得两种原因，
第一是机械问题，可以检查a、联轴器是否松动；b、是否有反向间隙；c、螺距补偿是否进行补偿，d，机床的机械刚性。机床的结构件（轴）、支承件（轴承、床身），共同影响着机床刚性。一般来说，构件横截面尺寸大、轴与轴承的间隙小，刚性好。但如果是钢件，与哪种钢几乎没关系。（不要听销售说他的机床材料好，是优质钢。没用）
第二是电器原因，a）检查是否加速度参数MD32300是否设置过大，b）轮廓监控公差带MD36400是否过小；c）伺服增益MD32200是否过大，d）MD32400轴冲击限制是否打开e）MD32402轴冲击极限的滤波器类型是否打开 f）MD32410轴冲击滤波器的时间设置过大 g）MD32431 MD32432轨迹控制运行方式中在程序段过渡处的最大轴向冲击