一台立车，24h全恒温环境。由FANUC系统改换成西门子840Dsl系统，采用西门子6SL3120-2TE15-0AA3伺服及1FT7082-5AC71-1FB1伺服电机。改造前运行一直挺稳定的，换完系统后，用了一个月左右Z轴在连续运行时开始出现多走的情况，连续运行几小时之后，向上向下均出现实际值比设定值多走，再次重启机床之后又会变好。

Z轴有平衡油缸，采用电磁阀补压，无蓄能器，油温正常，压力设置也正常；

上下运行时监测电机运行电流也很平稳；

硬轨传动，检查了导轨塑面，镶条等也未见异常，润滑也很好；

用千分表检测了Z轴在低速运行时也无爬行情况出现；

在刚开机之后用激光干涉仪正负10次检测机床的反向间隙在0.007，定位误差在0.03左右，重复定位在0.008左右；

但是在反复运行后会明显发现差值越来越大。

传动比为1:1；丝杆螺距为10。

在进行补偿之后也是一样的情况，刚补偿完马上检测，差值都在几个微米之内。在连续运行之后，再测就会又差很多，而且一样是实际值比设定值多走。

现在拿不准到底是机械引起的误差还是系统配置有问题引起的误差呢。。求各位大神帮忙分析分析。