谢谢两位大侠回复。ZANE版主说的这些都是能否做成重点，芳工的方案值得重点考虑。1：泵硬件上找了两家供应商（一个模拟量调速，一个PWM调速。两个泵头都是电机带个机械凸轮挤压气室的抽气结构（我拆看过），我很担心这两家抽气泵的精度）；2：控制器上我准备了200、1200、日系、F767（可以达100K且有1000个档）我想控制器这块应该不是重点。3：其它能想到的就是主贴描述的、这应该是难点啊。容器应该做多大真没数、我准备让组里机械工程师做个步进或伺服带的可调截面积的容器、液位暂不考虑其它扰动（实际有其它结构的扰动，我先忽略，原因是如果无扰动都难更进一步控制在0.01mm，扰动基本没戏）扰动仅限密闭空间的热量、很小的机械振动及空气流动等。4：计算方法我在结合以前调试成功的四轴计算方法以及西门子的一些串级案例在考虑。5:调速方面能想到的矢量变频速度模式应该很精密的调速方式了和它配合的合适泵头也很关键1Pa的压力真的很小。不一定能行，走一步看一步再说。