对于恒温控制突变性负载，采用PID控制较好还是模糊控制较好？？？-技术论坛-工业支持中心-西门子中国

对于恒温控制突变性负载，采用PID控制较好还是模糊控制较好？？？

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对于恒温控制突变性负载，采用PID控制较好还是模糊控制较好？？？

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2019-01-21 10:29:46

对于恒温控制突变性负载，采用PID控制较好还是模糊控制较好？？？

例如半导体生产设备要求恒温±0.3°，晶圆研磨液处理设备与晶圆研磨机之间温差较大，研磨液处理设备输出研磨液要恒温26.5°(研磨机要求)，而研磨机本身温度在开机时温度为室温24°，此时研磨液从研磨机返回液体温度差不多也是24°，恒温装置应答速度较慢往往导致偏差达到±2.5极限偏差°，用模糊控制可以做到±0.5°，PID控制因为需要调整时间滞后，有什么调整PID参数办法可以将滞后消除

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