2021年1月28日，我司真空镀膜N线开始检修，检修前会议上，生产方面提出，这个周期后半段，DC14A,14B两个挨着的靶位有问题，生产中波动较大，希望设备这边检查下。

设备开门后，检查发现DC14A靶材表面形成深深的沟槽，而14B表面则整圈有明显的粗糙黑化痕迹，典型的14A没有旋转而开靶，14B开了旋转没开靶。这是严重的事故啊！

所有压力立即到我这儿来了。按照规定，靶没旋转是不能开靶的，为什么14A没旋转开靶了呢？大家都怀疑PLC控制程序出问题了。生产部负责带维修电钳工的班长在旁边大声喊：“这下麻烦了，损失十多万！”各部门领导也指示设备部的工程师赶紧找到问题根源。

我立即着手检查。首先，PLC程序和上位WINCC系统是肯定没问题的，这系统是我设计的，当年测试了好多遍验证过了，不可能存在问题。那么，只可能是外部有问题。我在上位上点击14A旋转开启，14A正常运转，检测14A传动皮带正常运行的传感器也显示正常，没有任何问题，14B也是一样，一切正常。既然这样，那么我心里就有底了，估计是两个靶电源接反了。

检查各靶位接的电源线，上面标记清晰，14A线对应14A靶，14B线对应14B靶，再到DC电源侧去检查，发现问题了。14A线接到了14B电源上，14B线接到了14A电源上。在电源侧电源线的长短有限，不会说线错位，那就只有一种可能了，我们线上的DC电源是20KW的，风冷，虽然是净化间内部工作，但还是需要定期拆开清洁除尘的，估计是除尘的电工两台一起拆下除尘，除尘结束后，电工也没看电源上醒目的标签，随便就装了回去，如果电源是点对点控制，也就没事了，可电源是用S7 400PLC通过PROFIBUS DP通信控制的，电源地址不变，控制不变。从而导致程序里开的14B旋转和14B电源，然后电源输出给了14A靶位，两个靶位紧挨着，工艺气体是共享的，所以顺利点靶生产，随着14A靶面溅射，因为没有旋转，磁控溅射导致的跑道就很明显，而溅射出的膜层，除了沉积到玻璃上，也有一部分沉积到旋转中的14B靶面上，这就是靶面整体粗糙黑化的原因。

电工小小失误，就导致了靶材报废，一根靶十来万，损失八万左右。我们公司比较奇葩，钳电工生产部自己管，设备机械电气部分设备部管，设备部是顾问的性质，处理些生产钳电工做不了的事。设备部要做什么事，都是发给生产那边，生产自己处理。这次的问题生产设备各打五十大板，最最低级的低级失误，粗心大意要不得啊！