参考以下，有接线，组态及编程：
SIMATIC S7-1200/S7-1500 F-CPU介绍：
https://support.industry.siemens.com/cs/document/109478599/simatic-s7-1200-s7-1500-f-cpu?dti=0&lc=zh-CN
SIMATIC 分布式 I/O 系统故障安全工程 ET 200S 分布式 I/O 系统：
https://support.industry.siemens.com/cs/document/12490437/simatic-分布式-i-o-系统故障安全工程-et-200s-分布式-i-o-系统?dti=0&lc=zh-CN
在TIA V14环境下S7-1500F与ET200SP实现Profinet安全相关通讯的入门文档：
https://support.industry.siemens.com/cs/document/109756198/在tia-v14环境下s7-1500f与et200sp实现profinet安全相关通讯的入门文档?dti=0&lc=zh-CN
SIMATIC 分布式 I/O 故障安全工程 ET 200pro 分布式 I/O 系统 — 故障安全模块
https://support.industry.siemens.com/cs/document/22098524/simatic-分布式-i-o-故障安全工程-et-200pro-分布式-i-o-系统-—-故障安全模块?dti=0&lc=zh-CN
详细的组态编程见下：
SIMATIC 工业软件 S7 Distributed Safety — 组态和编程：
https://support.industry.siemens.com/cs/document/22099875/simatic-工业软件-s7-distributed-safety-—-组态和编程?dti=0&lc=zh-CN
文档链接 ：
https://support.industry.siemens.com/cs/document/22098524/simatic-分布式-i-o-故障安全工程-et-200pro-分布式-i-o-系统-—-故障安全模块?dti=0&lc=zh-CN