回复：请教大佬们810D光栅尺与pcu20CF卡的问题-技术论坛-工业支持中心-西门子中国

回复：请教大佬们810D光栅尺与pcu20CF卡的问题

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西范斯

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钻石如何晋级?

发布于 2023-01-09 23:11:58

11楼

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以下是引用潘1在2023-01-09 17:42:00的发言 >8楼：再请教下老师，我把10nm的光栅尺换成5nm的了，型号还是LC483,该改哪个参数呢？810d，

常见精度等级应该是μm级别。倍频后的测量步距/分辨率可以是nm级别。

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guzhang

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