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发布于 2023-07-26 17:03:45
6楼
补充一下,这两天我们在线监控发现STO触发后工艺报警编号ErrorDetail.Number报421,STO硬件恢复后偶尔会有MC_Reset不能确认掉421这个工艺报警,在421工艺报警未被确认掉的情况下重新给MC_POWER Enable后MC_POWER.ErrorID就报16#8001错误,所以我觉得问题还是在为什么会出现STO硬件恢复后通过MC_Reset不能确认工艺报警421的情况,请教各位大神,STO从触发到恢复后MC_Reset、MC_POWER等执行的时序是什么样的,MC_Reset.Execute、MC_Power.Enable需要哪些特殊的条件,谢谢!
STO是如何接线的?
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