回复：PLC-->中间继电器-->接触器-->真空泵：关了这路真空泵，会有浪涌切断另一路真空泵吗？-技术论坛-工业支持中心-西门子中国

回复：PLC-->中间继电器-->接触器-->真空泵：关了这路真空泵，会有浪涌切断另一路真空泵吗？

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lu_zhao_long

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钻石如何晋级?

发布于 2024-04-21 18:43:14

2楼

在印象中，每套真空泵组的 3 台泵应该是串联关系吧。

操作顺序是：

1. 必须先启动机械泵；

2. 当真空度达到一个低值时，才能启动罗茨泵。罗茨泵进出口处压差不能超过几个 kPa，否则停机保护；

3. 当罗茨泵稳定运转后，最后再启动扩散泵，以达到极低的真空度。

也就是说，这 3台泵之间是有启动顺序和差压保护关系的。

说不定是你在停扩散泵的时候，引起了罗茨泵的压差出现了波动而超限了，进而停机械泵进行保护。

具体情况只能查看 PLC 程序后确定了。

深陷于此，我是来“喝水”的！ lu_zhao_long@139.com

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guzhang

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