ASML的EUV极紫外光刻机上面的伺服用的哪家的？-技术论坛-工业支持中心-西门子中国

ASML的EUV极紫外光刻机上面的伺服用的哪家的？

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ASML的EUV极紫外光刻机上面的伺服用的哪家的？

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2026-04-08 21:14:13

光刻机巨头，荷兰的阿斯麦的最先进的1nm制程的EUV极紫外光刻机，被誉为“上帝的手术刀”，它在激光刻蚀的时候，不断的移动，距离的把控非常的细微，它的伺服电机是哪一家提供的解决方案，安川，还是汇川？或者是西门子，倍福这些龙头企业。不会真的是汇川的伺服吧，汇川的伺服感觉哪里都有。用伺服移动的时候，会不会产生抖动，导致芯片良品率降低。

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guzhang

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