802C_Baseline的螺距补偿

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802C_Baseline的螺距补偿

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2006-10-13 23:13:40

使用802C_Baseline系统,利用激光干涉仪做螺距补偿,X轴负限位-905,正限位95,补100个点,该如何设点,是否第一点为95,依次加10?
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guzhang

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