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谁能说说怎样用激光干涉仪对840c进行螺距补偿

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wanglxy

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谁能说说怎样用激光干涉仪对840c进行螺距补偿

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2006-11-10 23:19:39

怎样用激光干涉仪对siemens840c系统进行误差补偿？840c里面对应840d的像32700，38000的参数是哪些啊？又是怎么生成补偿文件，怎么补偿呢，请各位大师指点！！

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guzhang

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