感器模型
如图所示，仪器由带有直孔的金属主体组成。两个不锈钢探棒,一个温度探棒和一个加热探棒（加热棒）,穿过直孔并且突出出来。
当有气体流过时，在两个探棒之间有一个恒定的温差(ΔT)需要维持.当质量流量变化时,会带走传感器上的热量,传感器温度会降低。为维持这个恒定的温差(接近38°C),需要补充能量。一般而言，温差越大，需要补充的热量越大。电路通过计算将流量大小转换成电信号输出。
特点：◆低压降◆设计坚固◆对于潮湿气体和脏气灵敏度低◆测量与外部温度变化和压力变化无关◆安装位置任意◆无可移动部件◆主体为不锈钢，可选经济的铝主体
应用：测量气体消耗量，排气量测量，半导体工业，仪器标定，N2/O2发生器，燃烧车间，机械加工等行业。
可选项：低压降型号，显示累计流量，现场显示，设定点，读数系统
技术参数：
测量系统：
精度 ±3%FS (包括非线性)
重复性： ±0.5%FS
响应时间（63.2％） τ＝0.7秒
压力敏感性 0.2％/bar
Attitude 敏感性 ±0.1%°C
泄漏率 <2×10-9 mbar 1/s He
RFI CE 标准


使用限定:
量程 3~100%
气体类型 所有与材料兼容的气体
温度 0~70°C
压力 10bar ;更高压力也可选择



安装:
D-5100系列 前端10 倍直径直管段
D-6200系列 无严格限制


机械部件:
传感器 AISI 316L
主体 AISI 316L或者 铝
过滤网 不锈钢/特氟隆
防护等级 IP40(可选IP65)


电气特性:
供电 24VDC±10% 或者 15VDC±10%
最大电流值 D-5100 75mA max
D-6200 瞬间起压电流 :250mA max
无流量 : 75mA max
100%流量 : 175mA max
控制阀 (如果应用) 加 250mA max
输出信号 0~5VDC 或者 4~20mA
电缆 6线 DIN 或者 15线 SUB-D

面的文字是些具体的参数、尺寸等。