问题就是2楼说的情况，可能你的安装文件存放在中文路径了，比如说 D:\西门子软件\STEP 7 V5.4 ，这样的路径包含了中文，安装时会提示你说的那种错误。如果是 D:\SIEMENS\STEP 7 V5.4 就不会有问题了，一般说放在根目录下也是为了避免出现这种安装错误出现。
下载中心下载这份文档看一下：A0160 《STEP 7 V5.4 软件安装及新功能介绍（更新版）》，原文摘录：如果您在安装过程中系统提示某些文件丢失或找不到（例如，SSF文件找不到）或者双击setup.exe后安装向导无法启动，首先确保您的安装光盘或硬盘上的安装文件完整性；其次，如果安装文件的路径名称中含有中文字符，请将中文字符改为符号、字母或数字。